干式真空泵

　　市面上干式真空泵厂家较多，选用厂家前要了解此类泵的作用到底是什么。干式真空泵是指能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。主要有干式螺杆真空泵、无油往复真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵几种形式，且应用广泛。干式真空泵1、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。
　　2、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。
　　3、干式真空泵可用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
　　4、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
　　5、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。
　　随着科技的发展，干式真空泵厂家技术也不断提高，受反应物质影响小，稳定性好。选择一家好的厂家购买，质量更有保障。